Некоторые закономерности получения наночастиц диоксида кремния в низкотемпературной плазме атмосферного давления

Исследуются некоторые закономерности образования наночастиц диоксида кремния в низкотемпературной плазме атмосферного давления. Показано, что применение перфорированных электродов, покрытых диэлектриком, позволяет использовать чистый аргон для получения тлеющего высокочастотного разряда (α-режим разряда). Основные закономерности синтеза наночастиц близки при использовании гелия и аргона в качестве плазмообразующего газа. Вероятно, что образование наночастиц происходит в области горения разряда, а их агломерация — в области реактора, расположенной далее по потоку