КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ РАБОТЫ ДВУХКООРДИНАТНОГО СТОЛИКА С ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИМИ АКТЮАТОРАМИ

В работе приведены результаты аналитического исследования и компьютерного моделирования работы двухкоординатного столика микроскопа с пьезоэлектрическим приводом. Описан принцип действия двухкоординатного операционного столика микроскопа с параллельной кинематикой с биморфными пьезоэлектрическими актюаторами (БПА). Найдены зависимости перемещений столика по осям X и Y от электрических напряжений, подаваемых на БПА в квазистатическом режиме. Составлены уравнения движения столика по двум координатам, на основе которых выведены передаточные функции перемещений столика при управляющих воздействиях – напряжениях на БПА. Для компьютерного моделирования в среде SIMULINK разработаны структурные схемы системы управления с ПИД-регулятором при шаговом ступенчатом воздействии по осям X и Y. Компьютерное моделирование показало, что при введении ПИД-регулятора в систему управления динамическая система ведет себя как апериодическое звено с достаточным для решения задач позиционирования быстродействием.