ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ОПРЕДЕЛЕНИЕ БЫСТРОДЕЙСТВИЯ МОЛЕКУЛЯРНО-ВЯЗКОСТНОЙ СТУПЕНИ ВАКУУМНОГО НАСОСА

В работе экспериментально исследованы откачные характеристики молекулярно-вязкостной ступени молекулярно-вязкостного и комбинированного турбомолекулярного насосов. Исследование проводилось при условии работы ступени с каналами трапецеидальной формы в вязкостном или переходном режимах течения газа. В статье приведено описание стенда, на базе которого получены экспериментальные данные, а именно измерение быстродействия насоса в широком диапазоне давлений. По полученным экспериментальным данным выполнен анализ влияния скоростных параметров на быстродействие ступени насоса. Определены способы увеличения быстродействия при сохранении габаритных размеров насоса в целом. Полученные результаты позволяют улучшить откачные параметры комбинированных турбомолекулярных вакуумных насосов и параметры высоковакуумной системы, в которой они установлены.