Массивы нанокристаллов кремния в матрице SiO2: структура и люминесцентные свойства

Исследовано влияние высокотемпературного (500–1100 °С) отжига на структурные и люминесцентные свойства многослойных нанопериодических структур (МНС)  a-SiO_x/SiO₂, полученных испарением из двух независимых источников. Результаты изучения структуры методом высокоразрешающей просвечивающей электронной микроскопии показали, что после отжига при 1000–1100 °С в SiO_x-слоях МНС формируются массивы вертикально упорядоченных нанокристаллов кремния с диаметрами, не превышающими исходной толщины слоев а-SiO_x, с поверхностной плотностью ~ 10¹² см^-2. Полученные структуры с массивами нанокристаллов кремния характеризуются размернозависимой фотолюминесценцией при комнатной температуре в диапазоне длин волн 700–850 нм.