Исследование морфологии никелевых слоев, полученных из бис-(этилциклопентадиенил) никеля

В статье представлены результаты исследования морфологии поверхности и состава никелевых слоев, полученных химическим осаждением из газовой фазы металлоорганического соединения бис-(этилциклопентадиенил) никеля в зависимости от температуры осаждения. Было показано, что в диапазоне температур от 640 до 920 K возможно формирование различных слоев, состоящих из отдельных наночастиц, покрытых углеродной оболочкой, из никелевых наночастиц и углеродных наноконусов, плотных покрытий из никелевых частиц с небольшим содержанием Ni₃C, а также «рыхлых» слоев, содержащих углерод в форме графита. Формирование плотных никелевых слоев с небольшим содержанием Ni₃C происходило в узком диапазоне температур вблизи 800 K.