Применение метода атомно-слоевого осаждения  для создания тонкопленочных литий-ионных аккумуляторов на основе оксида олова IV

Металлургия и материаловедение. Машиностроение
Авторы:
Попович Анатолий Анатольевич Максимов Максим Юрьевич Никифорова Оксана Вадимовна Хайдоров Александр Дмитриевич
Аннотация:

Рассмотрены основные принципы метода атомно-слоевого осаждения (АСО), а также его преимущества при синтезе тонких пленок для электродов тонкопленочных литий-ионных аккумуляторов. Показана возможность получения широкого спектра соединений, в том числе и материалов на основе оксида олова IV с использованием различных исходных веществ. Приведены некоторые параметры процесса осаждения, влияющие на скорость роста и структуру тонких пленок, а также электрохимические характеристики тонкопленочных электродов на основе SnO2, полученных методом АСО.