МОДЕЛИРОВАНИЕ ДЕФЕКТОВ ПОКРЫТИЯ ТОНКИХ СЛОЕВ НАНОМАТЕРИАЛА
Авторы:
Аннотация:
В работе приведены результаты моделирования процесса изменения размера пылевых частиц в процессе их транспортировки из области синтеза к подложке. Рассматриваются процессы изменения размера частиц в результате коагуляции, происходящей при их движении в неоднородном электрическом поле. Изложены постановка задачи и метод решения, позволяющий рассчитать формирование дефектов покрытия — крупных шарообразных частиц микрометрового размера. Проведено параметрическое исследование распределения агломератов по размерам в зависимости от глубины потенциальной ямы, расхода реагентов и несущего газа.